賽悟德半導(dǎo)體科技（上海）股份有限公司
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該設(shè)備系統(tǒng)是為易燃、易爆、腐蝕性、毒性等危險(xiǎn)性氣體供應(yīng)而設(shè)計(jì)的特氣供應(yīng)分配箱體，進(jìn)口接入主管道，出口接入各個(gè)機(jī)臺(tái)，基本功能包括手動(dòng)吹掃以及緊急情況下的安全切斷。
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半自動(dòng)功能閥門分配箱 -
全自動(dòng)TMA VMB輸送柜 -
全自動(dòng)TMA輸送柜 -
半自動(dòng)特殊氣體輸送氣架 -
全自動(dòng)特殊氣體輸送柜 -
門分配盤面 -
自動(dòng)功能閥門分配箱
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